磁控濺射靶材透磁率測量解決方案
項目背景
磁控濺射靶材主要應用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等;亦可應用于玻璃鍍膜領(lǐng)域;還可以應用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。透磁率可以作為評估磁性靶材透磁性能的有效指標，其測試方法還沒(méi)有相應的行業(yè)標準，很大程度上制約了國內磁性濺射靶材的研發(fā)、制作及工業(yè)化生產(chǎn)。
解決方案
1、測試設備：CIM-3140RMT透磁率測量裝置 CIM-3140RMT透磁率測量裝置是一款樣品透磁測量設備，主要用于磁性濺射靶材包括PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp、 %PTFstdev等參數測量，并對測試結果進(jìn)行統計分析，可繪制PTF曲線(xiàn)圖、%PTF曲線(xiàn)圖。 具有文件管理、測試和數據（圖形）輸出等功能， 可滿(mǎn)足用戶(hù)對磁性濺射靶材的測試、數據（報告）輸出及數據管理等需求。
2、設備特點(diǎn)
- ⑴、RMTest透磁測量系統為綠色軟件，無(wú)需繁瑣的安裝過(guò)程。
- ⑵、測量軟件運行于Windows XP或 Win 7 操作系統下，符合Windows軟件規范，操作直觀(guān)簡(jiǎn)捷。
- ⑶、采用橫向探頭測量樣品表面的透磁。
- ⑷、磁強計具備自動(dòng)清零功能，能一鍵對表頭零點(diǎn)進(jìn)行清零。
- ⑸、可在軟件界面選擇磁場(chǎng)測試量程，無(wú)需通過(guò)手動(dòng)按鍵切換量程檔位。
- ⑹、測試結果包含PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp等。
- ⑺、可導入多組數據進(jìn)行多個(gè)半徑曲線(xiàn)對比。
- ⑻、測試結果在PTF或%PTF坐標上可以通過(guò)雙擊波形調出單點(diǎn)捕捉功能，可以在軟件界面最下方顯示鼠標 當前選中位置點(diǎn)的相對角度和磁場(chǎng)強度值。
- ⑼、儀器自帶水平儀。
- ⑽、支持各種型號的噴墨或激光打印機，可直接打印測試報告。
- ⑾、可直接通過(guò)E-mail發(fā)送彩色的測試報告。
- ⑿、有數據庫功能,可將測試數據輸出到EXCEL中，便于對測試結果進(jìn)行分析。
- ⒀、可將測試報告轉換（保存）為圖片文件，以方便在論文中插圖。
3、主要技術(shù)參數
|
項目 |
指標 |
|
|
系統控制 |
PC+6616PX 16位數據采集卡 |
|
|
X單軸行程 |
0-250mm，電動(dòng)調節 |
|
|
Z單軸行程 |
0-200mm，手動(dòng)調節 |
|
|
R旋轉軸 |
角度刻線(xiàn)間隔5度，旋轉速度1-6度/秒可調 |
|
|
測試時(shí)間 |
測試時(shí)間可調，最快60秒/圈 |
|
|
測量范圍 |
試樣外徑Φ100mm∽Φ600mm、高度≤50mm |
|
|
磁強計 |
量程 |
1KGs, 2KGs, 4KGs, 8KGs |
|
測量精度 |
滿(mǎn)量程達0.5% |
|
|
測量參數 |
PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp |
|
|
A/D數據采集 |
16Bits，旋轉分辨率：3600點(diǎn)/360º |
|
|
測量結果重復度 |
小于0.5% |
|
|
測量軟件 |
Windows 7運行環(huán)境，測量數據可以EXCEL形式保存在硬盤(pán)，可隨時(shí)查詢(xún) |
|
|
測量報告 |
透磁場(chǎng)坐標和透磁率坐標 |
|
|
合格判定 |
按標準進(jìn)行判定 |
|
4、軟件界面
5、測試曲線(xiàn).
- 上一篇：電磁閥/繼電器行業(yè)軟磁測量解決方案
- 下一篇：沒(méi)有了
